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序号
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股东名称
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持股
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比例
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日期
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| 1 | 杨云春 | 196676719 | 26.82 | 2022-03-31 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 12.05 | 2022-03-31 |
| 3 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 15.314 | 2022-03-31 |
| 4 | 杨云春 | 44270305 | 7.672 | 2022-03-31 |
| 5 | 杨云春 | 245367035 | 33.61 | 2021-09-30 |
| 6 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 12.1 | 2021-09-30 |
| 7 | 杨云春 | 61341759 | 16.754 | 2021-09-30 |
| 8 | 中金期货有限公司－中金期货－融汇1号资产管理计划 | 7748934 | 1.06 | 2021-09-30 |
| 9 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 7610933 | 1.04 | 2021-09-30 |
| 10 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 7610933 | 2.079 | 2021-09-30 |
| 11 | 香港中央结算有限公司 | 6667811 | 1.821 | 2021-09-30 |
| 12 | 香港中央结算有限公司 | 6667811 | 0.91 | 2021-09-30 |
| 13 | UBSAG | 6394045 | 0.88 | 2021-09-30 |
| 14 | 北京时代复兴投资管理有限公司－时代复兴乘风1号私募证券投资基金 | 6199147 | 0.85 | 2021-09-30 |
| 15 | 杭州乐信投资管理有限公司－乐信长阳私募证券投资基金 | 5927934 | 0.81 | 2021-09-30 |
| 16 | 济南江山投资合伙企业(有限合伙) | 5036807 | 0.69 | 2021-09-30 |
| 17 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4598700 | 0.63 | 2021-09-30 |
| 18 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4598700 | 1.256 | 2021-09-30 |
| 19 | 刘琼 | 4560372 | 1.246 | 2021-09-30 |
| 20 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2880634 | 0.787 | 2021-09-30 |
| 21 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 2460854 | 0.672 | 2021-09-30 |
| 22 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 2244000 | 0.613 | 2021-09-30 |
| 23 | 李长 | 2240000 | 0.612 | 2021-09-30 |
| 24 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 2203100 | 0.602 | 2021-09-30 |
| 25 | 杨云春 | 245367035 | 33.61 | 2021-09-08 |
| 26 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 12.1 | 2021-09-08 |
| 27 | 香港中央结算有限公司 | 10482944 | 1.44 | 2021-09-08 |
| 28 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 9775433 | 1.34 | 2021-09-08 |
| 29 | 中金期货有限公司-中金期货-融汇1号资产管理计划 | 7748934 | 1.06 | 2021-09-08 |
| 30 | UBSAG | 6392870 | 0.88 | 2021-09-08 |
| 31 | 北京时代复兴投资管理有限公司-时代复兴乘风1号私募证券投资基金 | 6199147 | 0.85 | 2021-09-08 |
| 32 | 杭州乐信投资管理有限公司-乐信长阳私募证券投资基金 | 5927934 | 0.81 | 2021-09-08 |
| 33 | 李纪华 | 5320523 | 0.73 | 2021-09-08 |
| 34 | 济南江山投资合伙企业(有限合伙) | 5036807 | 0.69 | 2021-09-08 |
| 35 | 杨云春 | 245367035 | 38.39 | 2021-08-10 |
| 36 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 13.83 | 2021-08-10 |
| 37 | 香港中央结算有限公司 | 10482944 | 1.64 | 2021-08-10 |
| 38 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 9775433 | 1.53 | 2021-08-10 |
| 39 | 刘琼 | 4720372 | 0.74 | 2021-08-10 |
| 40 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4200000 | 0.66 | 2021-08-10 |
| 41 | 李纪华 | 2608396 | 0.41 | 2021-08-10 |
| 42 | 中国银行股份有限公司-国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2500434 | 0.39 | 2021-08-10 |
| 43 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 2275404 | 0.36 | 2021-08-10 |
| 44 | 李长 | 2210000 | 0.35 | 2021-08-10 |
| 45 | 杨云春 | 245367035 | 38.39 | 2021-06-30 |
| 46 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 13.83 | 2021-06-30 |
| 47 | 杨云春 | 61341759 | 16.754 | 2021-06-30 |
| 48 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 9775433 | 2.67 | 2021-06-30 |
| 49 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 9775433 | 1.53 | 2021-06-30 |
| 50 | 香港中央结算有限公司 | 7374335 | 1.15 | 2021-06-30 |
| 51 | 香港中央结算有限公司 | 7374335 | 2.014 | 2021-06-30 |
| 52 | 刘琼 | 5250972 | 1.434 | 2021-06-30 |
| 53 | 刘琼 | 5250972 | 0.82 | 2021-06-30 |
| 54 | 苏颜翔 | 4677680 | 0.73 | 2021-06-30 |
| 55 | 苏颜翔 | 4677680 | 1.278 | 2021-06-30 |
| 56 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4380600 | 1.196 | 2021-06-30 |
| 57 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4380600 | 0.69 | 2021-06-30 |
| 58 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.47 | 2021-06-30 |
| 59 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.47 | 2021-06-30 |
| 60 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.819 | 2021-06-30 |
| 61 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.819 | 2021-06-30 |
| 62 | 李纪华 | 2898296 | 0.792 | 2021-06-30 |
| 63 | 李纪华 | 2898296 | 0.45 | 2021-06-30 |
| 64 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2608234 | 0.712 | 2021-06-30 |
| 65 | 杨云春 | 245367035 | 38.39 | 2021-03-31 |
| 66 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 13.83 | 2021-03-31 |
| 67 | 杨云春 | 61341759 | 16.754 | 2021-03-31 |
| 68 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 16165309 | 4.415 | 2021-03-31 |
| 69 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 16165309 | 2.53 | 2021-03-31 |
| 70 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 8967007 | 1.4 | 2021-03-31 |
| 71 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 8967007 | 2.449 | 2021-03-31 |
| 72 | 刘琼 | 5360972 | 1.464 | 2021-03-31 |
| 73 | 刘琼 | 5360972 | 0.84 | 2021-03-31 |
| 74 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5229584 | 0.82 | 2021-03-31 |
| 75 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5229584 | 1.428 | 2021-03-31 |
| 76 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 3569334 | 0.975 | 2021-03-31 |
| 77 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 3569334 | 0.56 | 2021-03-31 |
| 78 | 李纪华 | 3232296 | 0.51 | 2021-03-31 |
| 79 | 李纪华 | 3232296 | 0.883 | 2021-03-31 |
| 80 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.819 | 2021-03-31 |
| 81 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.819 | 2021-03-31 |
| 82 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.47 | 2021-03-31 |
| 83 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000 | 0.47 | 2021-03-31 |
| 84 | 香港中央结算有限公司 | 2859735 | 0.781 | 2021-03-31 |
| 85 | 杨云春 | 245367035 | 38.39 | 2020-12-31 |
| 86 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 13.83 | 2020-12-31 |
| 87 | 杨云春 | 39184612 | 11.464 | 2020-12-31 |
| 88 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 22545193 | 6.596 | 2020-12-31 |
| 89 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 22545193 | 3.53 | 2020-12-31 |
| 90 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9555907 | 1.5 | 2020-12-31 |
| 91 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9555907 | 2.796 | 2020-12-31 |
| 92 | 邵倩 | 6000000 | 1.755 | 2020-12-31 |
| 93 | 邵倩 | 6000000 | 0.94 | 2020-12-31 |
| 94 | 刘琼 | 5360972 | 0.84 | 2020-12-31 |
| 95 | 刘琼 | 5360972 | 1.568 | 2020-12-31 |
| 96 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4931575 | 1.443 | 2020-12-31 |
| 97 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4931575 | 0.77 | 2020-12-31 |
| 98 | 香港中央结算有限公司 | 4711136 | 0.74 | 2020-12-31 |
| 99 | 香港中央结算有限公司 | 4711136 | 1.378 | 2020-12-31 |
| 100 | 上海高毅资产管理合伙企业(有限合伙)－高毅邻山1号远望基金 | 4560000 | 1.334 | 2020-12-31 |
| 101 | 上海高毅资产管理合伙企业(有限合伙)－高毅邻山1号远望基金 | 4560000 | 0.71 | 2020-12-31 |
| 102 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 4244834 | 0.66 | 2020-12-31 |
| 103 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 4244834 | 1.242 | 2020-12-31 |
| 104 | 李纪华 | 3232296 | 0.946 | 2020-12-31 |
| 105 | 杨云春 | 248124325 | 38.82 | 2020-09-30 |
| 106 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101 | 13.83 | 2020-09-30 |
| 107 | 杨云春 | 41941902 | 12.271 | 2020-09-30 |
| 108 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 25565193 | 7.48 | 2020-09-30 |
| 109 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 25565193 | 4 | 2020-09-30 |
| 110 | 青岛德泽投资中心(有限合伙) | 11510000 | 1.8 | 2020-09-30 |
| 111 | 青岛德泽投资中心(有限合伙) | 11510000 | 3.368 | 2020-09-30 |
| 112 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9567387 | 2.799 | 2020-09-30 |
| 113 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 9567387 | 1.5 | 2020-09-30 |
| 114 | 邵倩 | 6000000 | 0.94 | 2020-09-30 |
| 115 | 邵倩 | 6000000 | 1.755 | 2020-09-30 |
| 116 | 香港中央结算有限公司 | 5967197 | 1.746 | 2020-09-30 |
| 117 | 香港中央结算有限公司 | 5967197 | 0.93 | 2020-09-30 |
| 118 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 5366634 | 0.84 | 2020-09-30 |
| 119 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 5366634 | 1.57 | 2020-09-30 |
| 120 | 刘琼 | 5361972 | 1.569 | 2020-09-30 |
| 121 | 刘琼 | 5361972 | 0.84 | 2020-09-30 |
| 122 | 上海高毅资产管理合伙企业(有限合伙)－高毅邻山1号远望基金 | 4560000 | 0.71 | 2020-09-30 |
| 123 | 上海高毅资产管理合伙企业(有限合伙)－高毅邻山1号远望基金 | 4560000 | 1.334 | 2020-09-30 |
| 124 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4415675 | 1.292 | 2020-09-30 |
| 125 | 杨云春 | 46810900 | 55.73 | 2016-03-31 |
| 126 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心成长混合型证券投资基金 | 2951850 | 3.51 | 2016-03-31 |
| 127 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心成长混合型证券投资基金 | 2951850 | 3.514 | 2016-03-31 |
| 128 | 李纪华 | 2489190 | 2.96 | 2016-03-31 |
| 129 | 李长 | 2489190 | 2.96 | 2016-03-31 |
| 130 | 郭四清 | 2000150 | 2.38 | 2016-03-31 |
| 131 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.6 | 2016-03-31 |
| 132 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.604 | 2016-03-31 |
| 133 | 宋慧明 | 1000070 | 1.19 | 2016-03-31 |
| 134 | 刘琼 | 1000070 | 1.19 | 2016-03-31 |
| 135 | 丁新春 | 960069 | 1.14 | 2016-03-31 |
| 136 | 兴业银行股份有限公司-中邮战略新兴产业混合型证券投资基金 | 949995 | 1.13 | 2016-03-31 |
| 137 | 兴业银行股份有限公司-中邮战略新兴产业混合型证券投资基金 | 949995 | 1.131 | 2016-03-31 |
| 138 | 中国农业银行股份有限公司-中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金 | 857504 | 1.021 | 2016-03-31 |
| 139 | 兴业银行股份有限公司-中邮核心竞争力灵活配置混合型证券投资基金 | 699984 | 0.833 | 2016-03-31 |
| 140 | 中央汇金资产管理有限责任公司 | 593000 | 0.706 | 2016-03-31 |
| 141 | 中国农业银行股份有限公司-中邮创新优势灵活配置混合型证券投资基金 | 479703 | 0.571 | 2016-03-31 |
| 142 | 中国工商银行-广发聚富开放式证券投资基金 | 385348 | 0.459 | 2016-03-31 |
| 143 | 中海信托股份有限公司-中海聚发-新股约定申购3资金信托 | 382597 | 0.455 | 2016-03-31 |
| 144 | 中国农业银行股份有限公司-华安智能装备主题股票型证券投资基金 | 321918 | 0.383 | 2016-03-31 |
| 145 | 杨云春 | 46810900 | 55.73 | 2015-12-31 |
| 146 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心成长混合型证券投资基金 | 2946850 | 3.51 | 2015-12-31 |
| 147 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心成长混合型证券投资基金 | 2946850 | 3.508 | 2015-12-31 |
| 148 | 李纪华 | 2489190 | 2.96 | 2015-12-31 |
| 149 | 李长 | 2489190 | 2.96 | 2015-12-31 |
| 150 | 郭四清 | 2000150 | 2.38 | 2015-12-31 |
| 151 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.6 | 2015-12-31 |
| 152 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.604 | 2015-12-31 |
| 153 | 宋慧明 | 1000070 | 1.19 | 2015-12-31 |
| 154 | 刘琼 | 1000070 | 1.19 | 2015-12-31 |
| 155 | 丁新春 | 960069 | 1.14 | 2015-12-31 |
| 156 | 朱金妹 | 877354 | 1.04 | 2015-12-31 |
| 157 | 朱金妹 | 877354 | 1.044 | 2015-12-31 |
| 158 | 兴业银行股份有限公司-中邮战略新兴产业混合型证券投资基金 | 799995 | 0.952 | 2015-12-31 |
| 159 | 中国农业银行股份有限公司-中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金 | 757551 | 0.902 | 2015-12-31 |
| 160 | 中央汇金资产管理有限责任公司 | 593000 | 0.706 | 2015-12-31 |
| 161 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心优选混合型证券投资基金 | 588981 | 0.701 | 2015-12-31 |
| 162 | 兴业银行股份有限公司-中邮核心竞争力灵活配置混合型证券投资基金 | 499984 | 0.595 | 2015-12-31 |
| 163 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心优势灵活配置混合型证券投资基金 | 350200 | 0.417 | 2015-12-31 |
| 164 | 中国邮政储蓄银行股份有限公司-中邮核心科技创新灵活配置混合型证券投资基金 | 259918 | 0.309 | 2015-12-31 |
| 165 | 杨云春 | 46810900 | 55.73 | 2015-09-30 |
| 166 | 中国农业银行-中邮核心成长股票型证券投资基金 | 2946850 | 3.51 | 2015-09-30 |
| 167 | 中国农业银行-中邮核心成长股票型证券投资基金 | 2946850 | 3.508 | 2015-09-30 |
| 168 | 李纪华 | 2489190 | 2.96 | 2015-09-30 |
| 169 | 李长 | 2489190 | 2.96 | 2015-09-30 |
| 170 | 郭四清 | 2000150 | 2.38 | 2015-09-30 |
| 171 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.6 | 2015-09-30 |
| 172 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 1347430 | 1.604 | 2015-09-30 |
| 173 | 宋慧明 | 1000070 | 1.19 | 2015-09-30 |
| 174 | 刘琼 | 1000070 | 1.19 | 2015-09-30 |
| 175 | 丁新春 | 960069 | 1.14 | 2015-09-30 |
| 176 | 朱金妹 | 877354 | 1.04 | 2015-09-30 |
| 177 | 朱金妹 | 877354 | 1.044 | 2015-09-30 |
| 178 | 兴业银行股份有限公司-中邮战略新兴产业股票型证券投资基金 | 799995 | 0.952 | 2015-09-30 |
| 179 | 中国农业银行股份有限公司-中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金 | 757551 | 0.902 | 2015-09-30 |
| 180 | 中央汇金投资有限责任公司 | 593000 | 0.706 | 2015-09-30 |
| 181 | 中国农业银行-中邮核心优选股票型证券投资基金 | 588981 | 0.701 | 2015-09-30 |
| 182 | 兴业银行股份有限公司-中邮核心竞争力灵活配置混合型证券投资基金 | 499984 | 0.595 | 2015-09-30 |
| 183 | 中国农业银行股份有限公司-中邮核心优势灵活配置混合型证券投资基金 | 350200 | 0.417 | 2015-09-30 |
| 184 | 中国邮政储蓄银行股份有限公司-中邮核心科技创新灵活配置混合型证券投资基金 | 259918 | 0.309 | 2015-09-30 |
| 185 | 杨云春 | 46810900 | 55.73 | 2015-06-30 |
| 186 | 李纪华 | 2489190 | 2.96 | 2015-06-30 |
| 187 | 李长 | 2489190 | 2.96 | 2015-06-30 |
| 188 | 郭四清 | 2000150 | 2.38 | 2015-06-30 |
| 189 | 顾国绵 | 1346200 | 1.6 | 2015-06-30 |
| 190 | 顾国绵 | 1346200 | 1.603 | 2015-06-30 |
| 191 | 吴宝珍 | 1176100 | 1.4 | 2015-06-30 |
| 192 | 吴宝珍 | 1176100 | 1.4 | 2015-06-30 |
| 193 | 中国农业银行-中邮核心成长股票型证券投资基金 | 1038910 | 1.24 | 2015-06-30 |
| 194 | 中国农业银行-中邮核心成长股票型证券投资基金 | 1038910 | 1.237 | 2015-06-30 |
| 195 | 宋慧明 | 1000070 | 1.19 | 2015-06-30 |
| 196 | 刘琼 | 1000070 | 1.19 | 2015-06-30 |
| 197 | 丁新春 | 960069 | 1.14 | 2015-06-30 |
| 198 | 中国农业银行股份有限公司-中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金 | 549962 | 0.655 | 2015-06-30 |
| 199 | 中国工商银行股份有限公司-中邮趋势精选灵活配置混合型证券投资基金 | 326710 | 0.389 | 2015-06-30 |
| 200 | 中国农业银行股份有限公司-中邮双动力混合型证券投资基金 | 300000 | 0.357 | 2015-06-30 |