| 序号 | 股东名称 | 持股 | 比例 | 日期 |
| 1 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 355868100 | 84.73 | 2022-03-31 |
| 2 | 深圳市族鑫聚贤投资企业(有限合伙) | 8571167 | 2.04 | 2022-03-31 |
| 3 | 深圳市族芯聚贤投资企业(有限合伙) | 6652549 | 1.58 | 2022-03-31 |
| 4 | 大族控股集团有限公司 | 3231900 | 0.77 | 2022-03-31 |
| 5 | 杨朝辉 | 2586217 | 0.62 | 2022-03-31 |
| 6 | 全国社保基金五零三组合 | 1399948 | 0.33 | 2022-03-31 |
| 7 | 全国社保基金五零三组合 | 1399091 | 3.548 | 2022-03-31 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 1003396 | 2.544 | 2022-03-31 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 1003396 | 0.24 | 2022-03-31 |
| 10 | 中国农业银行股份有限公司－大成创业板两年定期开放混合型证券投资基金 | 933478 | 0.22 | 2022-03-31 |
| 11 | 中国农业银行股份有限公司－大成创业板两年定期开放混合型证券投资基金 | 932621 | 2.365 | 2022-03-31 |
| 12 | 中国农业银行股份有限公司－大成企业能力驱动混合型证券投资基金 | 661366 | 0.16 | 2022-03-31 |
| 13 | 中国农业银行股份有限公司－大成企业能力驱动混合型证券投资基金 | 660509 | 1.675 | 2022-03-31 |
| 14 | 中国农业银行股份有限公司－大成积极成长混合型证券投资基金 | 551795 | 0.13 | 2022-03-31 |
| 15 | 中国农业银行股份有限公司－大成积极成长混合型证券投资基金 | 550978 | 1.397 | 2022-03-31 |
| 16 | 全国社保基金一一三组合 | 499939 | 1.268 | 2022-03-31 |
| 17 | 深圳君宜私募证券基金管理有限公司－君宜祈圆私募证券投资基金 | 452636 | 1.148 | 2022-03-31 |
| 18 | 基本养老保险基金八零二组合 | 310605 | 0.788 | 2022-03-31 |
| 19 | 中国建设银行股份有限公司－大成科创主题3年封闭运作灵活配置混合型证券投资基金 | 292242 | 0.741 | 2022-03-31 |
| 20 | 苏仕 | 165675 | 0.42 | 2022-03-31 |
| 21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 355868100 | 84.73 | 2022-02-28 |
| 22 | 深圳市族鑫聚贤投资企业(有限合伙) | 8571167 | 2.04 | 2022-02-28 |
| 23 | 深圳市族芯聚贤投资企业(有限合伙) | 6652549 | 1.58 | 2022-02-28 |
| 24 | 大族控股集团有限公司 | 3231900 | 0.77 | 2022-02-28 |
| 25 | 杨朝辉 | 2586217 | 0.62 | 2022-02-28 |
| 26 | 中信证券股份有限公司 | 490417 | 0.12 | 2022-02-28 |
| 27 | 周辉强 | 284225 | 0.07 | 2022-02-28 |
| 28 | 张建群 | 284225 | 0.07 | 2022-02-28 |
| 29 | 胡志雄 | 237538 | 0.06 | 2022-02-28 |
| 30 | 杜永刚 | 174597 | 0.04 | 2022-02-28 |
| 31 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 355868100 | 94.15 | 2022-02-16 |
| 32 | 深圳市族鑫聚贤投资企业(有限合伙) | 8571167 | 2.27 | 2022-02-16 |
| 33 | 深圳市族芯聚贤投资企业(有限合伙) | 6652549 | 1.76 | 2022-02-16 |
| 34 | 大族控股集团有限公司 | 3231900 | 0.86 | 2022-02-16 |
| 35 | 杨朝辉 | 2586217 | 0.68 | 2022-02-16 |
| 36 | 周辉强 | 284225 | 0.08 | 2022-02-16 |
| 37 | 张建群 | 284225 | 0.08 | 2022-02-16 |
| 38 | 胡志雄 | 237538 | 0.06 | 2022-02-16 |
| 39 | 杜永刚 | 174597 | 0.05 | 2022-02-16 |
| 40 | 何军伟 | 109482 | 0.03 | 2022-02-16 |