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序号
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股东名称
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持股
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比例
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日期
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| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 20.84 | 2022-03-31 |
| 2 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 20.84 | 2022-03-31 |
| 3 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 150178253 | 5.52 | 2022-03-31 |
| 4 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 150178253 | 11.289 | 2022-03-31 |
| 5 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000 | 10.554 | 2022-03-31 |
| 6 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000 | 5.16 | 2022-03-31 |
| 7 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.13 | 2022-03-31 |
| 8 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 10.498 | 2022-03-31 |
| 9 | 上海新微科技集团有限公司 | 124080000 | 9.327 | 2022-03-31 |
| 10 | 上海新微科技集团有限公司 | 124080000 | 4.56 | 2022-03-31 |
| 11 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521 | 2.65 | 2022-03-31 |
| 12 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 63489043 | 2.33 | 2022-03-31 |
| 13 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 59308567 | 2.18 | 2022-03-31 |
| 14 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 59308567 | 4.458 | 2022-03-31 |
| 15 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 48270609 | 3.628 | 2022-03-31 |
| 16 | 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业(有限合伙) | 39078252 | 1.44 | 2022-03-31 |
| 17 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 28622259 | 2.152 | 2022-03-31 |
| 18 | 香港中央结算有限公司 | 23132937 | 1.739 | 2022-03-31 |
| 19 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 19362929 | 1.455 | 2022-03-31 |
| 20 | 建声实业有限公司 | 17452800 | 1.312 | 2022-03-31 |
| 21 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 20.84 | 2022-03-03 |
| 22 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 20.84 | 2022-03-03 |
| 23 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 159778253 | 5.87 | 2022-03-03 |
| 24 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000 | 5.16 | 2022-03-03 |
| 25 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.13 | 2022-03-03 |
| 26 | 上海新微科技集团有限公司 | 138740000 | 5.1 | 2022-03-03 |
| 27 | 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 72011521 | 2.65 | 2022-03-03 |
| 28 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长股票型证券投资基金 | 61820032 | 2.27 | 2022-03-03 |
| 29 | 招商银行股份有限公司-银河创新成长混合型证券投资基金 | 55500636 | 2.04 | 2022-03-03 |
| 30 | 台州中硅股权投资合伙企业(有限合伙) | 39078252 | 1.44 | 2022-03-03 |
| 31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-12-31 |
| 32 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-12-31 |
| 33 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 159778253 | 6.44 | 2021-12-31 |
| 34 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 147505653 | 13.531 | 2021-12-31 |
| 35 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000 | 12.879 | 2021-12-31 |
| 36 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 140400000 | 5.66 | 2021-12-31 |
| 37 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2021-12-31 |
| 38 | 上海新微科技集团有限公司 | 138740000 | 5.59 | 2021-12-31 |
| 39 | 上海新微科技集团有限公司 | 138740000 | 12.727 | 2021-12-31 |
| 40 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 55500636 | 5.091 | 2021-12-31 |
| 41 | 招商银行股份有限公司-银河创新成长混合型证券投资基金 | 55500636 | 2.24 | 2021-12-31 |
| 42 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长股票型证券投资基金 | 46601598 | 1.88 | 2021-12-31 |
| 43 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 46601598 | 4.275 | 2021-12-31 |
| 44 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 28622259 | 2.626 | 2021-12-31 |
| 45 | 中保投资有限责任公司-中国保险投资基金(有限合伙) | 28622259 | 1.15 | 2021-12-31 |
| 46 | 香港中央结算有限公司 | 22152306 | 0.89 | 2021-12-31 |
| 47 | 香港中央结算有限公司 | 22152306 | 2.032 | 2021-12-31 |
| 48 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 14906199 | 1.367 | 2021-12-31 |
| 49 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 13161829 | 1.207 | 2021-12-31 |
| 50 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 7424463 | 0.681 | 2021-12-31 |
| 51 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-09-30 |
| 52 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-09-30 |
| 53 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 6.53 | 2021-09-30 |
| 54 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 14.728 | 2021-09-30 |
| 55 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 154437600 | 6.23 | 2021-09-30 |
| 56 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 142165000 | 12.925 | 2021-09-30 |
| 57 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2021-09-30 |
| 58 | 上海新微科技集团有限公司 | 137500000 | 5.54 | 2021-09-30 |
| 59 | 上海新微科技集团有限公司 | 137500000 | 12.501 | 2021-09-30 |
| 60 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 43982280 | 3.999 | 2021-09-30 |
| 61 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 43982280 | 1.77 | 2021-09-30 |
| 62 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 42219589 | 1.7 | 2021-09-30 |
| 63 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 42219589 | 3.838 | 2021-09-30 |
| 64 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 29123047 | 2.648 | 2021-09-30 |
| 65 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 29123047 | 1.17 | 2021-09-30 |
| 66 | 香港中央结算有限公司 | 18160512 | 0.73 | 2021-09-30 |
| 67 | 香港中央结算有限公司 | 18160512 | 1.651 | 2021-09-30 |
| 68 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 13761135 | 1.251 | 2021-09-30 |
| 69 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 13161829 | 1.197 | 2021-09-30 |
| 70 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 6457148 | 0.587 | 2021-09-30 |
| 71 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-06-30 |
| 72 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-06-30 |
| 73 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 6.53 | 2021-06-30 |
| 74 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 14.728 | 2021-06-30 |
| 75 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 154437600 | 6.23 | 2021-06-30 |
| 76 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 142165000 | 12.925 | 2021-06-30 |
| 77 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2021-06-30 |
| 78 | 上海新微科技集团有限公司 | 137500000 | 5.54 | 2021-06-30 |
| 79 | 上海新微科技集团有限公司 | 137500000 | 12.501 | 2021-06-30 |
| 80 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 42904387 | 3.901 | 2021-06-30 |
| 81 | 中保投资有限责任公司-中国保险投资基金(有限合伙) | 42904387 | 1.73 | 2021-06-30 |
| 82 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长股票型证券投资基金 | 41723496 | 1.68 | 2021-06-30 |
| 83 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 41723496 | 3.793 | 2021-06-30 |
| 84 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 29000000 | 2.637 | 2021-06-30 |
| 85 | 招商银行股份有限公司-银河创新成长混合型证券投资基金 | 29000000 | 1.17 | 2021-06-30 |
| 86 | 交通银行股份有限公司-诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19623458 | 0.79 | 2021-06-30 |
| 87 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19623458 | 1.784 | 2021-06-30 |
| 88 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 9920259 | 0.902 | 2021-06-30 |
| 89 | 海通证券资管－交通银行－海通资管汇享硅产业员工参与科创板战略配售集合资产管理计划 | 8226221 | 0.748 | 2021-06-30 |
| 90 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 5861371 | 0.533 | 2021-06-30 |
| 91 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-03-31 |
| 92 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2021-03-31 |
| 93 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 174272600 | 7.03 | 2021-03-31 |
| 94 | 上海新微科技集团有限公司 | 162000000 | 6.53 | 2021-03-31 |
| 95 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 6.53 | 2021-03-31 |
| 96 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2021-03-31 |
| 97 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 102827763 | 4.15 | 2021-03-31 |
| 98 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 1.45 | 2021-03-31 |
| 99 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 7.207 | 2021-03-31 |
| 100 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19210738 | 3.847 | 2021-03-31 |
| 101 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19210738 | 0.77 | 2021-03-31 |
| 102 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 18244649 | 0.74 | 2021-03-31 |
| 103 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 18244649 | 3.653 | 2021-03-31 |
| 104 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 5601803 | 1.122 | 2021-03-31 |
| 105 | 中国建设银行股份有限公司－华泰柏瑞上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 3939882 | 0.789 | 2021-03-31 |
| 106 | 中国农业银行股份有限公司－工银瑞信上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 3638536 | 0.729 | 2021-03-31 |
| 107 | 中信证券股份有限公司 | 2268372 | 0.454 | 2021-03-31 |
| 108 | 领航投资澳洲有限公司－领航新兴市场股指基金(交易所) | 1875919 | 0.376 | 2021-03-31 |
| 109 | MORGANSTANLEY&CO.INTERNATIONALPLC. | 1642918 | 0.329 | 2021-03-31 |
| 110 | 兴业银行股份有限公司－博时汇兴回报一年持有期灵活配置混合型证券投资基金 | 1615587 | 0.323 | 2021-03-31 |
| 111 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2020-12-31 |
| 112 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2020-12-31 |
| 113 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 174272600 | 7.03 | 2020-12-31 |
| 114 | 上海新微科技集团有限公司 | 162000000 | 6.53 | 2020-12-31 |
| 115 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 6.53 | 2020-12-31 |
| 116 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2020-12-31 |
| 117 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 96478863 | 3.89 | 2020-12-31 |
| 118 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 1.45 | 2020-12-31 |
| 119 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 7.207 | 2020-12-31 |
| 120 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19521447 | 3.909 | 2020-12-31 |
| 121 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 19521447 | 0.79 | 2020-12-31 |
| 122 | 建声实业有限公司 | 17452800 | 0.7 | 2020-12-31 |
| 123 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 12915085 | 2.586 | 2020-12-31 |
| 124 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 6725203 | 1.347 | 2020-12-31 |
| 125 | 全国社保基金一一八组合 | 6684122 | 1.338 | 2020-12-31 |
| 126 | 中国建设银行股份有限公司－华泰柏瑞上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 5139929 | 1.029 | 2020-12-31 |
| 127 | 中国农业银行股份有限公司－工银瑞信上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 5064553 | 1.014 | 2020-12-31 |
| 128 | JPMORGANCHASEBANKNATIONALASSOCIATION | 2227639 | 0.446 | 2020-12-31 |
| 129 | 中国建设银行股份有限公司－信达澳银新能源产业股票型证券投资基金 | 1915775 | 0.384 | 2020-12-31 |
| 130 | 海通证券股份有限公司 | 1595994 | 0.32 | 2020-12-31 |
| 131 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2020-09-30 |
| 132 | 上海国盛(集团)有限公司 | 567000000 | 22.86 | 2020-09-30 |
| 133 | 上海嘉定工业区开发(集团)有限公司 | 174272600 | 7.03 | 2020-09-30 |
| 134 | 上海新微科技集团有限公司 | 162000000 | 6.53 | 2020-09-30 |
| 135 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业(有限合伙) | 162000000 | 6.53 | 2020-09-30 |
| 136 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 139653500 | 5.63 | 2020-09-30 |
| 137 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙) | 94663563 | 3.82 | 2020-09-30 |
| 138 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 1.45 | 2020-09-30 |
| 139 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 35993896 | 7.696 | 2020-09-30 |
| 140 | 建声实业有限公司 | 17452800 | 0.7 | 2020-09-30 |
| 141 | 宁波联利中芯投资管理合伙企业(有限合伙) | 14009400 | 0.56 | 2020-09-30 |
| 142 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 13017343 | 2.783 | 2020-09-30 |
| 143 | 全国社保基金一一八组合 | 7909993 | 1.691 | 2020-09-30 |
| 144 | 江苏新潮科技集团有限公司 | 5570467 | 1.191 | 2020-09-30 |
| 145 | 华泰证券股份有限公司 | 1303387 | 0.279 | 2020-09-30 |
| 146 | 上海明汯投资管理有限公司－明汯价值成长1期私募投资基金 | 1116954 | 0.239 | 2020-09-30 |
| 147 | 法国兴业银行 | 1008390 | 0.216 | 2020-09-30 |
| 148 | 中国农业银行股份有限公司－长城久嘉创新成长灵活配置混合型证券投资基金 | 909225 | 0.194 | 2020-09-30 |
| 149 | 海通证券股份有限公司 | 864965 | 0.185 | 2020-09-30 |
| 150 | 高华－汇丰－GOLDMANSACHS&CO.LLC | 724953 | 0.155 | 2020-09-30 |